紫外激光以其波长短、加工精度高、冷加工等特性，在微细制造中具有独特优势，能够有效提高制造品质。近年来，随着现代电子产业的快速发展，其对生产制造的要求不断提高，紫外激光的应用和发展也受到人们的广泛关注。紫外激光在微加工过程中对材料尺寸形状要求小，加工过程灵活可变，产生的热影响区小，能够实现精密复杂结构的加工。本文介绍了紫外激光器的发展过程，并对目前主要用于微加工的两类紫外激光器：准分子激光器和全固态激光器的工作原理和技术特点进行了简要的概述。重点讨论紫外激光在半导体、光学元件和聚合物等领域的技术发展和应用现状，并进一步对未来研究方向进行预测和展望。

紫外激光产生介质主要分为气体和固体两种。气体介质产生方式通过电子束或脉冲放电，利用电子碰 撞激发，将气体粒子激发至某高能级上，从而产生受 激跃迁向外辐射紫外激光。固体介质是通过将红外光 或近红外光透过非线性倍频晶体的方式进行一次或多 次的频率转换后得到紫外激光。用于激光微细加工的 激光器主要有准分子激光器和全固态激光器等。